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Zygo
- Verifire ATZ
- NewView 7300

Zygo

Verifire ATZ

顔が写るくらい反射する物でないと測定が難しい
操作は簡単
試料まである程度の距離があっても測定は可能

NewView 7300

反射しない物でも測定できる
干渉縞を出す時の操作が難しい
ある程度まで試料を寄せる必要がある