Microscope

Confocal Laser Scanning Microscopy

• 紫外線レーザのフォーカスから表面形状を測定
• 100nm程度の観測が可能

Atomic Force Microscope

Scanning Electron Microscope

• 高解像度だが操作性に難あり
• 測定中は真空に引く必要あり

Scanning White Light Interferometer

• 干渉縞の変化から表面形状を測定
• 反射率が高い試料でないと測定が難しい
• 面の曲率が大きいと干渉縞の設定が難しい

Contact Profilometer

• 触診で表面形状を測定
• 高精度だが試料に接触する必要あり

Optical Microscope

• 普通の顕微鏡